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近日，微電子所新技術(shù)開發(fā)部微系統(tǒng)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室焦斌斌研究員團(tuán)隊(duì)的“緊湊型數(shù)字電容式MEMS三軸一體加速度傳感器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，在中國儀器儀表學(xué)會(huì)2022年度項(xiàng)目評選中榮獲“科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)”。

　　自2011年起，焦斌斌團(tuán)隊(duì)與西安交通大學(xué)、蘇州明皜傳感科技有限公司合作開展MEMS三軸一體加速度傳感器的關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化工作，開發(fā)了多項(xiàng)MEMS關(guān)鍵工藝，設(shè)計(jì)了全套MEMS工藝監(jiān)測方法與圖形體系，保證了MEMS芯片的高良率（＞98%）生產(chǎn)。專家組一致認(rèn)為，該成果技術(shù)復(fù)雜、創(chuàng)新性強(qiáng)、工藝難度大，核心制造工藝與質(zhì)量監(jiān)控方法具有自主知識產(chǎn)權(quán)，其中鋁鍺共晶鍵合顆粒溢出檢測、微小腔體氣密性檢測等在線工藝質(zhì)量監(jiān)控技術(shù)達(dá)國際水平。

　　基于該技術(shù)的相應(yīng)產(chǎn)品性能達(dá)博世、ST等國際龍頭企業(yè)對應(yīng)型號水平，獲得業(yè)內(nèi)眾多行業(yè)龍頭標(biāo)桿客戶認(rèn)可，不僅批量應(yīng)用于榮耀、小米、傳音等國內(nèi)一線品牌的電子產(chǎn)品，還進(jìn)入美國谷歌、韓國三星等國際知名企業(yè)。目前，該加速度傳感器產(chǎn)品市場占有率位居國內(nèi)市場前三、全球市場前五，正逐漸改變微型三軸加速度傳感器的國際市場格局。